nj看anj了眼右边的电子表，此刻时间是19点42分31秒。

他轻声说“开始吧。”

顿了顿，程院长anj说“盛工，你来吧。”

“唔”盛明安有点诧异，老实说程院长anj无论资历还是辈分都比他高几轮，被长anj辈喊盛工、谦让，他不太好意思“您喊我名字就anj行anj。光源系统的研发也有您的一份力，还是您来。”

程院长anj摆摆手笑着拒绝“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段，不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成，我只是个半路杀出anj的辅助，行anj了别推辞，再推让下anj去该下anj班了。”

行anj吧。盛明安点点头，示意身后研发团队各就anj各位，紧盯前方全套的光源系统设备，沉着冷静的说“开始验收。准备――”

“已启动数据记录，光源验收记录，功率消耗记录。”

“靶材装置确定装载完毕。”

“电源确定。”

“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”

“”

接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。

“启动二氧化碳脉冲激光器”

话音一落，盛明安按下anj开关按钮，众人抬头看anj向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下anj散发出anj奇妙无机质的机械美。

机械表而anj很anj平静，盛明安等人看anj不到内部正在发生的变化，他们只能通过最anj终结果判断是否成功，而anj过程很anj短暂、很anj快速，快到频率一秒五万次

盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它anj切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看anj实验。

视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。

突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张，由anj圆点扩张成椭圆形，光越来越盛、越来越亮，猛然爆发出anj闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长anj发亮的紫光倏然蹿出anj发光口，通过圆形长anj管，进入光束矫正器，通过能量转换器

最anj终击中直径30μ的靶材料锡液滴。

视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出anj现数以万计的紫色细长anj光线穿过一个又一个圆形长anj管最anj后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子，释放等离子体，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。

视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由anj为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。

激光经过多重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体。

接下anj来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由anj曝光系统获取最anj终的ic晶圆。

但盛明安的团队没有做后而anj的两步，只设计了光源系统的实验设计。

一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出anj错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最anj大化等等

所以一次的实验结果不能证明什anj么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出anj一个最anj优概率。

键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴“giao怎么样了”

杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪“我不知道。”

助手姑娘又没想anj要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就anj算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧

盛明安“各组报告结果。”

来了

众人振奋

一组报告“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2”

二组报告“散热系统启动散热功能正常”

三组报告“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获”

四组报告

随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成

众人憋着一口气没出anj声，就anj等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我们的