。但现在,对方断了供应,咱们的短板就凸显出来了。”
博隆光学已经掌握了45n光刻机的技术,但要继续往前推进,光源是个大问题。
“张总,现成的技术肯定没有。要不这样,你亲自去一趟车城,和光机所那边好好谈谈。咱们研发经费,成果共享,请他们一起来进行技术攻关。”
目前世界上深紫光光源的供应,还是被北美公司所垄断。
国内几大光机所,车城光机在这方面的技术实力最强,胡杨希望能和对方合作,共同攻克这个技术难关。
张潇闻言,笑着摇了摇头道“我已经和光机所联系过了,他们的胃口可真大。倒不是利益分配上的分歧,他们要求将深紫光光源和极紫光光源,一起立项研发。”
作为国内顶尖的光机所,已经看到了未来技术发展的路径。
目前,阿斯麦已开始研发euv极紫光光刻机,并且得到了s星、台电等国际巨头的资金支持。
从理论上来说,深紫光光刻机最高的制程只能做到7n这个节点。从7n开始,包括后续的5n等节点,就必须要用到极紫光光源。
光机所早就想深入研究极紫光光源,但由于经费的问题,迟迟没有立项。
现在张潇主动找上门,人家当然要提条件了。
听到这个,胡杨也感到头疼。这两个研发项目,一个深紫光光源升级,一个极紫光光源研发,都是很烧钱的项目。
和很多人想象的不一样,光源其实是消耗品。不同技术水平的光源,在精度和使用寿命上有很大的区别,并不是能用就够了。
“张总,这两个项目是一脉相承的,未来总会遇到这个难关。你想啊,咱们下一代的设备就是32n\\28n,距离10n以下也不是遥远的事情。
这样,我给梁经理打个招呼,帮你们筹集一笔专项资金。这笔资金就专门用来解决光源的问题,你看呢”
胡杨打算给博隆光学激光技术有限公司投一笔资金,支持公司和光机所的联合研发项目。
博隆光学激光技术有限公司,是博隆光学的全资子公司,具有激光技术方面的研发和生产能力。